輪廓式測量投影儀的系統(tǒng)采用模塊化設計，具備高度彈性之組合配置，可針對不同之量測需求配置來符合不同之量測應用：搭載電動鼻輪，zui多可同時掛載5種物鏡，使用時直接切換，省去手動更換的麻煩。同時配備電動調整移動平臺，可對樣品作自動調平及定位。垂直與水平軸向掃描范圍大，適合各種自動量測之應用，樣品皆不需前處理即可進行非破壞、快速的表面形貌量測與分析，使用于業(yè)界研發(fā)生產(chǎn)、制程改善以及學術研究等單位。
輪廓式測量投影儀之高度分辨率可達0.1 nm，而搭配使用Z垂直軸量測掃描行程更可達到100mm，且水平軸向亦可達次微米解析，除此輪廓式測量投影儀可透過計算機控制移動平臺進行水平掃瞄，使其水平軸向量測范圍可達到150 × 150mm，并可依據(jù)客戶需求修改平臺尺寸。輪廓式測量投影儀搭配快速的校正程序以及演算原理，系統(tǒng)校正結果可以追朔至NIST標準，并結合數(shù)種創(chuàng)新且強固可靠的算法，因此本系列產(chǎn)品可同時擁有高度以及大范圍量測的特質。
傳統(tǒng)的機械零件由于受加工設備的限制，對精度包括平面度，粗糙度的要求常規(guī)下停留在微米量級。但隨著技術發(fā)展，人們對機械零件的加工精度要求開始向納米量級邁進，設備加工精度的提高帶動檢測技術的發(fā)展，傳統(tǒng)的檢測手段包括接觸式和2D方式的檢測方法對檢測納米量級精度的機械零件有很大的局限性。
